準工
 
外筒研削、スライス、研磨、洗浄、熱処理、パッケージング


基本仕様
サイズ、厚さ、面方位、オフセット、OF、TTV、そり、表面粗さ

  


基板表面の元素、存在量、化学状態

表面残存元素、結合状態、Al/O化学量論比

  


結晶品質

表面近傍結晶性

  


表面状態

ステップ/テラス形状

  


重金属汚染

重金属残査

結晶性

ピーク形状と半値幅

  

 
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